本文主要讲述晶圆厂为什么常用IPA清洗而不用酒精。在12吋/8吋 fab中,是严禁使用乙醇酒精做主清洗剂的,为什么?
IPA是异丙醇,主要用于晶圆清洗,刻蚀,设备装机,PM等。几乎出现在晶圆厂各个区域中。 | IPA(异丙醇) | 乙醇(Ethanol) |
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化学式 | | |
极性 | | |
沸点 | | |
溶解性 | | |
气味 | | |
挥发速度 | | |
吸水性 | | |
干燥性(残留水能力) | | |
1,SEMI G5 级 IPA 的纯度水平通常超过 99.9999%(六个九的纯度),而乙醇几乎无法从共沸物中提取完全无水状态,常为“分析纯/试剂级”,天生难达晶圆级的超净标准。2,IPA挥发速度适中,能在表面均匀蒸发,不易形成“干斑”或水痕;与 DI水形成 azeotrope(共沸物),适合 Marangoni 干燥。3,IPA的极性比乙醇略低,与有机溶剂(NMP,ACE等)、光刻胶残留等相容性更好。实验室级封装前初步擦拭;
PCB行业;
需要临时清洗但不要求电子级纯度的情况。
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