本文主要讲述晶圆厂为什么常用IPA清洗而不用酒精。在12吋/8吋 fab中，是严禁使用乙醇酒精做主清洗剂的，为什么？
IPA是异丙醇，主要用于晶圆清洗，刻蚀，设备装机，PM等。几乎出现在晶圆厂各个区域中。 | IPA（异丙醇） | 乙醇（Ethanol） |
|---|
| 化学式 | | |
| 极性 | | |
| 沸点 | | |
| 溶解性 | | |
| 气味 | | |
| 挥发速度 | | |
| 吸水性 | | |
| 干燥性（残留水能力） | | |
1，SEMI G5 级 IPA 的纯度水平通常超过 99.9999%（六个九的纯度）,而乙醇几乎无法从共沸物中提取完全无水状态，常为“分析纯/试剂级”，天生难达晶圆级的超净标准。2，IPA挥发速度适中，能在表面均匀蒸发，不易形成“干斑”或水痕；与 DI水形成 azeotrope（共沸物），适合 Marangoni 干燥。3，IPA的极性比乙醇略低，与有机溶剂（NMP，ACE等）、光刻胶残留等相容性更好。实验室级封装前初步擦拭；
PCB行业；
需要临时清洗但不要求电子级纯度的情况。
转载内容仅代表作者观点
不代表中国科学院半导体所立场
