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晶圆厂为什么常用IPA而不用酒精?
昨天 10:37   浏览:135   来源:小萍子
本文主要讲述晶圆厂为什么常用IPA清洗而不用酒精。


在12吋/8吋 fab中,是严禁使用乙醇酒精做主清洗剂的,为什么?

IPA在晶圆厂中的应用?

IPA是异丙醇,主要用于晶圆清洗,刻蚀,设备装机,PM等。几乎出现在晶圆厂各个区域中。

图片

异丙醇与酒精的性质对比?

项目
IPA(异丙醇)乙醇(Ethanol)
化学式
C₃H₈O 
C₂H₆O 
极性
中等极性
极性较强
沸点
82.6°C
78.4°C
溶解性
与水、醇、酮类完全互溶
同样与水、醇类互溶
气味
刺鼻
相对温和
挥发速度
稍慢于乙醇
稍快于IPA
吸水性
更强
干燥性(残留水能力)
更容易置换水分
残留水更多、干燥性差一些

为什么用IPA不用酒精?

1,SEMI G5 级 IPA 的纯度水平通常超过 99.9999%(六个九的纯度),而乙醇几乎无法从共沸物中提取完全无水状态,常为“分析纯/试剂级”,天生难达晶圆级的超净标准

2,IPA挥发速度适中,能在表面均匀蒸发,不易形成“干斑”或水痕;与 DI水形成 azeotrope(共沸物),适合 Marangoni 干燥。

3,IPA的极性比乙醇略低,与有机溶剂(NMP,ACE等)、光刻胶残留等相容性更好。

那酒精真的不能用吗?

并非绝对不能用,但通常在以下情况中才会用到:

低端或实验用玻璃器具清洗;

实验室级封装前初步擦拭;


PCB行业;


需要临时清洗但不要求电子级纯度的情况。


END


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不代表中国科学院半导体所立场


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