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倒装芯片(Flip-Chip)封装技术详解
2025年09月26日 13:40   浏览:372   来源:小萍子

倒装芯片(Flip-Chip)是一种先进的集成电路封装技术,其核心特征在于将芯片的有源面(Active Area)翻转并朝向下,与封装基板直接进行互连。这与传统封装中芯片有源面朝上、通过引线键合(Wire Bonding)的方式实现电气连接形成鲜明对比。

核心技术原理与工艺流程

倒装芯片技术颠覆了传统的互连方式,其制造过程主要包含以下关键步骤:

  1. 晶圆级凸点制备(Wafer Bumping)

    • 这是倒装芯片工艺的基础和前提。在晶圆还未切割成单个芯片(Die)之前,就在其表面的I/O焊盘(Pads)上制作用于连接的凸点(Bumps)
    • 这些凸点可以是焊料(Solder)铜(Copper)镍/金(Nickel/Gold) 或者是这些金属的合金(Alloys),也可以是纯铜的铜柱(Copper Pillars)。铜柱顶端通常会有一个焊料帽(Solder Cap),以方便焊接。
  2. 切割(Dicing)

    • 完成凸点制作的晶圆被切割成一个个独立的、带有凸点的芯片。
  3. 贴装与回流焊接(Placement and Reflow Soldering)

    • 使用高精度的取放设备,将芯片翻转(Flipped),使其有源面朝下,并对准放置在封装基板上的相应焊盘上。
    • 整个结构通过回流焊炉加热,使凸点处的焊料熔化,冷却后形成可靠的机械和电气连接。
  4. 底部填充(Underfilling)

    • 机械应力补偿:芯片、凸点和基板的热膨胀系数(CTE)不同,在温度变化时会产生应力,容易导致焊点疲劳断裂。底层填充材料能均匀分布这些应力,显著提升封装的机械强度和抗热疲劳能力。
    • 环境保护:保护凸点免受湿气、灰尘和离子污染物的侵蚀。
    • 增强散热:某些填充材料还能改善从芯片到基板的导热路径。
    • 这是一个至关重要的可靠性增强步骤。在芯片和基板之间的缝隙中,利用毛细作用填充环氧树脂(Epoxy) 等底层填充材料。
    • 作用
  5. 二级互连(Secondary Interconnect)

    • 完成芯片连接的封装模块(现在是一个完整的封装体,如FC-BGA)最终通过其自身的焊球阵列(Ball Grid Array)被焊接在印刷电路板(PCB)上。

倒装芯片的技术变体与应用

正如您所提到的,倒装芯片技术可以根据所使用的基板类型进行细分:

  • **FC-CSP (Flip-Chip Chip Scale Package) 和 FC-BGA (Flip-Chip Ball Grid Array)**:

    • 芯片被倒装在高性能有机层压基板(Advanced Organic Laminate Substrate) 上。
    • 为何属于先进封装:这两种形式通常用于高性能、高I/O数量的芯片(如CPU、GPU、FPGA)。它们要求基板具有极高的布线密度更细的线宽/线距更多的层数,以支持更高的I/O数量更小的凸点间距(Bump Pitch)。这正是驱动先进基板技术发展的核心需求。因此,FC-CSP和FC-BGA被公认为先进的封装形式。
  • **FC-QFN (Flip-Chip Quad Flat No-leads)**:

    • 芯片被倒装在引线框架(Leadframe) 基板上。这是一种成本较低的选择,通常用于I/O数中等的应用,如某些电源管理IC和控制器。
  • **FC-陶瓷基板 (如Flip-Chip on HiC/LTCC)**:

    • 芯片被倒装在陶瓷基板(如高温共烧陶瓷HTCC或低温共烧陶瓷LTCC)上。
    • 应用:陶瓷基板具有优异的热性能、高频性能和密封性,常用于射频(RF)模块航空航天高温、高可靠性的军事领域。

倒装芯片技术的优势

  • 优异的电性能:极短的互连路径大幅降低了电感(L)和电阻(R),实现了更低的信号噪声、更高的传输带宽和更低的功耗。
  • 高I/O密度:整个芯片表面 area 而不仅仅是外围,都可以用于布置互连凸点,支持远超引线键合的I/O数量。
  • 小型化:封装尺寸可以做得非常小,尤其是FC-CSP,其尺寸几乎与芯片本身相同。
  • 良好的热性能:芯片的有源面(发热源)更直接地通过凸点和基板向外部散热,热路径更短、更高效。

总结

倒装芯片技术是现代半导体封装,特别是先进封装领域的基石。它通过晶圆级凸点制作和芯片倒装互连,实现了高性能、高密度和小型化的核心需求。其中,基于高性能有机基板FC-CSPFC-BGA是驱动高端处理器和异构集成发展的关键载体,其对于高I/O数和细间距的要求直接推动了封装材料和制造工艺的不断进步。


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